特許

J-GLOBAL ID：200903010478341998

三次元物体の検査方法および検査装置

発明者： 東條 剛史 ,  吉野 信治 ,  上田 陽一郎
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-087192
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274309
出願日： 2004年03月24日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】 高精度の部品浮き検査およびバンプ形状検査を実現すること。【解決手段】 板状物体上に配置されている三次元物体を検査するための方法であって、広角レンズを用いて三次元物体を側面が映し出される方向から撮像した画像を取得する工程と、画像に基づいて前記三次元物体を検査する工程とを備える。このように、広角レンズを用いることによって、垂直方向から観測を行うだけで、斜め方向から観測した場合と同じ効果が得られ、部品側面や針状になったバンプの先端を観察することができ、部品の浮きやバンプの形状を検査することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

板状物体上に配置されている三次元物体を検査するための方法であって、 広角レンズを用いて前記三次元物体を側面が映し出される方向から撮像した画像を取得する工程と、 前記画像に基づいて前記三次元物体を検査する工程とを備える、検査方法。

IPC (4件)：

G01B11/24 ,  G01B11/02 ,  G01N21/956 ,  H05K13/08

FI (4件)：

G01B11/24 K ,  G01B11/02 H ,  G01N21/956 B ,  H05K13/08 D

Fターム (31件)：

2F065AA16 ,  2F065AA21 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065CC17 ,  2F065CC26 ,  2F065DD00 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF05 ,  2F065FF09 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR07 ,  2F065UU07 ,  2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051AC01 ,  2G051CA04 ,  2G051DA05 ,  2G051EA12

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 実装済みプリント基板の検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-249025   出願人：松下電器産業株式会社
• スリット共焦点顕微鏡とそれを用いた表面形状計測装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-078060   出願人：株式会社高岳製作所
• 表面形状測定方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-241640   出願人：財団法人理工学振興会, 東レエンジニアリング株式会社
• バンプ頂点検出方法並びにこれを用いたバンプ高さ測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-307265   出願人：日本電気株式会社