特許

J-GLOBAL ID：200903010492757382

搬送縞発生手段を具備した被検体検査装置

発明者： 黒川 行修 ,  植木 伸明
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社 ,  富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-179581
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004337
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【目的】縞情報解析手段により解析可能な空間周波数を有する搬送縞を自動的に発生させることのできる搬送縞発生手段を備えることにより、被検体形状情報を担持した縞情報の測定信頼性およびその測定効率の向上を図る。【構成】搬送縞発生手段23は、円筒の一端を斜めに切断した形状をなすもので、この斜めに切断した端面が被検物体25への当接端面とされる。搬送縞発生手段23をミロー型顕微干渉計22に装着した際に、張設されたフィルム状の被検物体25上に当接端面23aが当接されるので、円筒の中心軸51と被検物体25の表面とは、当接端面23aの傾斜角に応じてθとされる。この角度θは、装置の観察系の縞解像力により観察されるとともに高精度で形状測定できる程度のピッチの搬送縞を発生させる大きさである。また、上記手段23の中心軸51における円筒の長さLは、当接端面23aが被検物体25に当接した際に、干渉計22が被検物体25の表面かつ中心軸51上で合焦し得る距離とされている。

請求項（抜粋）：

被検物体の形状を等高縞として表す際に、直線等高縞である搬送縞を発生させ、この搬送縞を前記被検物体の形状で変調させることでこの被検物体の形状情報を担持させた縞情報となし、この縞情報を解析して前記被検物体の各点の位相情報を求める被検体検査装置において、該縞情報の解析手段により解析可能な空間周波数を有する前記搬送縞を自動的に発生させることのできる搬送縞発生手段を設けたことを特徴とする搬送縞発生手段を具備した被検体検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  B65H 43/00 ,  G01B 9/02

FI (4件)：

G01B 11/24 D ,  G01B 11/24 E ,  B65H 43/00 ,  G01B 9/02

Fターム (29件)：

2F064AA09 ,  2F064BB07 ,  2F064CC04 ,  2F064EE01 ,  2F064EE05 ,  2F064EE10 ,  2F064GG61 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ15 ,  2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC02 ,  2F065DD03 ,  2F065FF07 ,  2F065FF08 ,  2F065FF52 ,  2F065GG12 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ16 ,  2F065UU07 ,  3F048BA08 ,  3F048BB07 ,  3F048BD07 ,  3F048CA00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 長尺物体の表面形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-027109   出願人：富士写真光機株式会社
• 試料検査装置及び試料検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-033347   出願人：株式会社ニデック
• 干渉縞生成表示方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-253323   出願人：富士写真光機株式会社