特許
J-GLOBAL ID：200903010620141128

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
伊藤 武史

伊藤 武史 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-366748
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134113
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】 カンチレバー交換時等に変位検出用の光学系の調整がズレて正確な測定に支障をきたしたり試料と探針が衝突して破損することを確実に防止する。 【解決手段】 振動子7によりカンチレバー4を共振点又はその近傍の周波数で振動させ、そのときに光検出器13の二分割受光面13U、13Lでカンチレバー4からの反射光を受け各受光光量に基づく検出信号を出力する。演算器17は総受光光量に対応した信号S1、両受光面の受光光量の差分の直流成分の信号S2及び交流成分の信号S3を算出し、表示器21はこれをそれぞれ独立に表示する。オペレータはこの表示を見ながら、信号S1、S3が大きくS2が小さくなるように、レーザ光源8及び光検出器13の位置を調整する。これによって、簡便に且つ確実に光学系を最良に近い状態に調整することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
試料表面を走査する探針が取り付けられたカンチレバーと、該カンチレバーの変位を検出するために、該カンチレバーに光を照射する照射手段、及びその照射光に対する反射光を受光する複数に分割された受光面を有する受光手段を含む変位検出手段と、備える走査型プローブ顕微鏡において、 a)前記カンチレバーをその共振点又はその近傍の周波数で振動させる加振手段と、 b)該加振手段による加振時に前記受光手段の各受光面により検出される複数の受光信号の差分の直流成分に応じた信号及びその交流成分の振幅に応じた信号、並びに、前記受光手段による総受光光量に応じた信号を求める信号取得手段と、 c)操作者が前記変位検出手段とカンチレバーとの相対位置関係を調整するためにその参考に供するべく、前記信号取得手段により得られた各信号の数値表示、又はその数値を反映した若しくはその各信号に基づいた表示又は報知を行う情報提示手段と、 を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N13/16 ,  G01B21/30
FI (2件)：
G01N13/16 A ,  G01B21/30
Fターム (12件)：
2F069AA60 ,  2F069DD30 ,  2F069FF00 ,  2F069GG04 ,  2F069GG20 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03 ,  2F069MM32 ,  2F069QQ05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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