特許
J-GLOBAL ID：200903079623629431

走査形プローブ顕微鏡

発明者：
伊 藤 喬

伊 藤 喬 について

, 
中 本 圭 一

中 本 圭 一 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-324980
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146808
出願日： 1998年11月16日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：
【要約】【課題】 フォトダイオードへの光の入射位置の調整を容易に行うことができる走査形プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】 光入射位置算出手段8は、受光素子ごとの信号強度の割合から、フォトダイオード7への入射光の中心位置を算出する。表示装置11の表示画面には、表示制御手段10の制御により、前記4分割フォトダイオード7の受光面の拡大図が表示されている。表示制御手段10は、前記入射光の中心位置をあらわす信号を受け、その中心位置に対応する受光面図上の位置に、その位置を中心とする円形のマーカーを受光面図に重畳させて表示する。オペレータは、マーカーの中心が受光面図の中心に来るように光検出器調整手段13を調整する。
請求項（抜粋）：
光源からの光をカンチレバーの背面に照射し、カンチレバーで反射した光を光検出器で検出してカンチレバーの変位を測定するようにした走査形プローブ顕微鏡において、前記光検出器の受光部の図を表示装置に表示させると共に、前記受光部の出力に基づいて受光部への光の入射位置を求めて、その入射位置を示すマーカーを前記受光部の図に重畳させて表示させるようにしたことを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/30
FI (3件)：
G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 L ,  G01B 21/30 Z
Fターム (9件)：
2F069AA60 ,  2F069AA77 ,  2F069DD25 ,  2F069GG01 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069NN08 ,  2F069QQ10
引用特許：
審査官引用 (6件)
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