特許
J-GLOBAL ID：200903010730995475
走査型プローブ顕微鏡の制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-093824
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285866
出願日： 1995年04月19日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】この発明は、常に安定した観察像を得ると共に圧電アクチュエータの故障発生率を低下させるため、試料走査型の走査型プローブ顕微鏡に於ける試料の重量変化に対しても適切な制御ゲインを設定することを特徴とする。【構成】圧電アクチュエータ1上に取付けられた載置台2上に、試料3が載置される。この試料3の物理特性は、プローブ4で変位に変換されて変位センサ5で検出され、スイッチ6を介して所定の指令値と共に比較器7に供給される。制御回路8は、この比較結果を受けて、高圧アンプ9、電流センサ10を介して圧電アクチュエータ1の走査方向を制御する。電流センサ10からの信号は、プリアンプ11を介して、制御回路8からの信号と共に参照テーブル12に入力される。この参照テーブル12の出力は、ゲイン最適化装置13に供給されて、スイッチ14を介して制御回路8に供給される。
請求項（抜粋）：
圧電アクチュエータによって載置台が可動する走査型プローブ顕微鏡に於いて、一定振幅及び一定周波数の交流電圧を上記圧電アクチュエータに印加する印加手段と、上記圧電アクチュエータに流れる電流値を計測する計測手段と、上記圧電アクチュエータに対する負荷質量及び上記計測手段で計測された電流値に基いて作成される制御パラメータから成る参照テーブルと、この参照テーブルからの出力に従い上記圧電アクチュエータに印加する印加電圧を制御する制御手段とを具備し、上記負荷質量の変更に伴い、上記参照テーブルに於いて上記制御手段へ出力される制御パラメータ信号を算出若しくは選択することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の制御装置。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
