特許

J-GLOBAL ID：200903010926804139

感放射線性樹脂組成物、樹脂パターン形成方法、樹脂パターン及びその利用

発明者： 小出村 順司 ,  東 広和
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-397644
公開番号（公開出願番号）：特開2003-195488
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】 比誘電率、耐熱寸法安定性、耐溶剤性、平坦性、塗布均一性、透明性、耐熱変色性及び保存安定性に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)脂環式オレフィン樹脂、(B)酸発生剤、(C)架橋剤、及び(D)溶剤からなる感放射線性樹脂組成物であって、前記(D)溶剤が2種類以上の異なる溶剤からなる混合溶剤であり、かつ当該混合溶剤中の5〜40重量%が窒素原子又は硫黄原子を含有する非プロトン性極性溶剤(D1)である感放射線性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)脂環式オレフィン樹脂、(B)酸発生剤、(C)架橋剤、及び(D)溶剤からなる感放射線性樹脂組成物であって、前記(D)溶剤が2種類以上の異なる溶剤からなる混合溶剤であり、かつ当該混合溶剤中の5〜40重量%が、窒素原子又は硫黄原子を含有する非プロトン性極性溶剤(D1)である感放射線性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 501 ,  C08F 32/00 ,  C08G 61/08 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/038 601

FI (6件)：

G03F 7/004 501 ,  C08F 32/00 ,  C08G 61/08 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/032 ,  G03F 7/038 601

Fターム (42件)：

2H025AA02 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AB13 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC07 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE01 ,  2H025BE07 ,  2H025CB08 ,  2H025CB42 ,  2H025CB47 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30 ,  4J032CA34 ,  4J032CA36 ,  4J032CA38 ,  4J032CD02 ,  4J032CG02 ,  4J100AR11P ,  4J100AR17P ,  4J100AR18P ,  4J100AR21P ,  4J100AR22P ,  4J100BA03P ,  4J100BA15P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100JA37

引用特許：

審査官引用 (4件)

• レジスト材料及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-108838   出願人：信越化学工業株式会社
• レジスト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-328131   出願人：信越化学工業株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-211096   出願人：ジェイエスアール株式会社
• フォトレジスト用化合物およびフォトレジスト用樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-135624   出願人：ダイセル化学工業株式会社