特許
J-GLOBAL ID：200903072633399022
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-211096
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052574
出願日： 1997年08月06日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 絶縁性、平坦性、耐熱性、透明性、耐薬品性などの諸性能に優れるとともに、低誘電性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 [A]アルカリ可溶性環状ポリオレフィン系樹脂[B]下記式(1):-CH2OR1 (1)[式中、R1は水素原子またはアルキル基である]で示される基を分子内に有する架橋剤、および[C]感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
[A]アルカリ可溶性環状ポリオレフィン系樹脂[B]下記式(1):-CH2OR1 (1)[式中、R1は水素原子またはアルキル基である]で示される基を分子内に有する架橋剤、および[C]感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/038 601
, C08K 5/00
, C08L 65/00
, G03F 7/004 501
, H01L 21/027
G03F 7/038 601
, C08K 5/00
, C08L 65/00
, G03F 7/004 501
, H01L 21/30 502 R
