特許
J-GLOBAL ID:200903011031816383

導電性ボール搭載装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 仁科 勝史
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-088469
公開番号(公開出願番号):特開2003-282620
出願日: 2002年03月27日
公開日(公表日): 2003年10月03日
要約:
【要約】【課題】吸着ヘッドの導電性ボールの保持の有無を検出し、保持が検出された場合には、再度の搭載動作を行い、ボールの破棄箱への破棄、再度のボール供給動作を省く。【解決手段】第1に、導電性ボールの吸着孔が形成された吸着ヘッドと、吸着ヘッドへのボール供給手段と、導電性ボールが搭載される被搭載物を支持する支持手段と、吸着ヘッドの導電性ボールの保持の有無を検出する検出手段と、ボール供給手段と支持手段の間で吸着ヘッドを相対的に移動させる移動機構と、吸着ヘッドに導電性ボールを吸着保持させ、保持した導電性ボールを被搭載物に搭載させる制御手段とを備えた導電性ボール搭載装置とする。第2に、被搭載物への導電性ボールの搭載動作の後、吸着ヘッドへの導電性ボールの保持の有無を検出する。第3に、導電性ボールの保持が検出された場合には、再度搭載動作を行う。
請求項(抜粋):
導電性ボールを吸着保持する吸着孔が形成された吸着ヘッドと、吸着ヘッドに導電性ボールを供給するボール供給手段と、吸着ヘッドで保持した導電性ボールが搭載される被搭載物を支持する支持手段と、吸着ヘッドによる導電性ボールの保持の有無を検出する検出手段と、ボール供給手段と支持手段の間で吸着ヘッドを相対的に移動させる移動機構と、吸着ヘッドに導電性ボールを吸着保持させ、保持した導電性ボールを被搭載物に搭載させる制御手段とを備えた導電性ボール搭載装置において、被搭載物への導電性ボールの搭載動作の後、吸着ヘッドへの導電性ボールの保持の有無を検出し、導電性ボールの保持が検出された場合には、再度搭載動作を行うことを特徴とする導電性ボール搭載装置。
IPC (2件):
H01L 21/60 ,  H05K 3/34 505
FI (2件):
H05K 3/34 505 A ,  H01L 21/92 604 H
Fターム (8件):
5E319AA03 ,  5E319AB05 ,  5E319AC01 ,  5E319BB04 ,  5E319CD04 ,  5E319CD26 ,  5E319GG09 ,  5E319GG15
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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