特許

J-GLOBAL ID：200903011048959846

合成石英ガラス

発明者： 生田 順亮 ,  菊川 信也 ,  下平 憲昭
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-363793
公開番号（公開出願番号）：特開2001-180956
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月03日
要約：

【要約】【課題】屈折率均質性および耐紫外線性に優れた合成石英ガラスの提供。【解決手段】光使用領域において、フッ素濃度の最大値が100ppm以下であり最大値と最小値との差が50ppm以下、かつOH基および塩素の濃度の最大値がそれぞれ10ppm未満である合成石英ガラス。

請求項（抜粋）：

波長280nm以下の光に使用される合成石英ガラスであって、光使用領域において、フッ素濃度の最大値が100ppm以下であり、フッ素濃度の最大値と最小値との差が50ppm以下、かつOH基および塩素の濃度の最大値がそれぞれ10ppm未満である合成石英ガラス。

IPC (2件)：

C03B 20/00 ,  C03C 3/06

FI (2件)：

C03B 20/00 F ,  C03C 3/06

Fターム (58件)：

4G014AH11 ,  4G062AA04 ,  4G062BB02 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB02 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062GE02 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM02 ,  4G062NN01 ,  4G062NN16

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 高出力真空紫外線用合成シリカガラス光学材料およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-145938   出願人：信越石英株式会社
• 光透過用合成石英ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-022576   出願人：住友金属工業株式会社
• エキシマレーザ及びエキシマランプ用のシリカガラス光学材料及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-296101   出願人：信越石英株式会社