特許

J-GLOBAL ID：200903011057406752

静電チャック

発明者： 石井 守 ,  井口 真仁 ,  片岡 昌子 ,  菊地 真哉
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-077616
公開番号（公開出願番号）：特開2003-273203
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年09月26日
要約：

【要約】【課題】 ウエハのチャック部の材料として低熱膨張材料を用いることにより、温度変化によるウエハの寸法変化を抑制し、精密加工にも使用を可能とする静電チャックを提供する。【解決手段】 電極と、この電極を被覆するセラミックスとを備えた静電チャックであって、該セラミックスが熱膨張係数が負の値を持つ化合物と熱膨張係数が正の値を持つ化合物とを含有するセラミックスからなり、かつ、該セラミックスの23±3°Cにおける熱膨張係数が-0.5×10-6〜0.5×10-6/°C、体積抵抗率が1×108〜1×1012Ωcmであることを特徴とする静電チャック。

請求項（抜粋）：

電極と、この電極を被覆するセラミックスとを備えた静電チャックであって、該セラミックスが熱膨張係数が負の値を持つ化合物と熱膨張係数が正の値を持つ化合物とを含有するセラミックスからなり、かつセラミックスの23±3°Cにおける熱膨張係数が-0.5×10-6〜0.5×10-6/°C、体積抵抗率が1×108〜1×1013Ωcm、ヤング率120GPa以上であることを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  C04B 35/495

FI (2件)：

H01L 21/68 R ,  C04B 35/00 J

Fターム (20件)：

4G030AA02 ,  4G030AA07 ,  4G030AA17 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA39 ,  4G030AA47 ,  4G030AA52 ,  4G030BA01 ,  4G030BA12 ,  4G030BA21 ,  4G030CA03 ,  4G030CA08 ,  4G030HA18 ,  4G030HA25 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA16 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 露光装置およびそれに用いられる支持部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-236568   出願人：太平洋セメント株式会社
• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-362272   出願人：太平洋セメント株式会社
• 静電気拡散性を有するセラミックス材料とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-379113   出願人：日本タングステン株式会社