特許
J-GLOBAL ID：200903011073758260

アライメント装置、成膜装置及びアライメント方法

発明者：
小田木 秀幸

小田木 秀幸 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 石島 茂男 ,  阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-343441
公開番号（公開出願番号）：特開2004-176124
出願日： 2002年11月27日
公開日（公表日）： 2004年06月24日
要約：
【課題】短時間で正確に位置合わせが行えるアライメント装置を提供する。【解決手段】本発明のアライメント装置5は、静電吸着装置72を有しており、基板7は静電吸着装置71に静電吸着された状態で、マスク8に対して相対的に移動し、位置合わせが行われるようになっている。基板7はその縁部分だけではなく中央部分も静電吸着されるようになっているので、基板7が保持された状態では基板7の中央部分にたわみが生じず、位置合わせのときに位置ずれが起こらない。従って、従来に比べてより正確に位置合わせが行われるので、位置合わせをやり直す必要がなく、結果としてアライメントに要する時間が短縮される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
板状のマスクを保持可能なマスクホルダと、 前記マスクホルダの上方に配置され、板状の基板を前記マスクに対して略平行に保持可能な基板ホルダとを有し、 前記マスクホルダと前記基板ホルダとは相対的な移動が可能に構成され、 前記マスクホルダと前記基板ホルダに、前記マスクと前記基板をそれぞれ保持させた状態で、前記相対的な移動を行い、前記基板と前記マスクとの位置合わせを行えるように構成されたアライメント装置であって、 前記基板ホルダは静電吸着装置を有し、 前記静電吸着装置は、前記マスクホルダに保持された前記マスク上方に前記基板を位置させた場合に、前記基板の上側表面に当接可能な吸着面を有するアライメント装置。
IPC (2件)：
C23C14/54 ,  H01L21/68
FI (2件)：
C23C14/54 G ,  H01L21/68 R
Fターム (22件)：
4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029EA00 ,  4K029HA01 ,  4K029HA04 ,  4K029JA01 ,  5F031CA02 ,  5F031FA12 ,  5F031HA16 ,  5F031HA46 ,  5F031HA57 ,  5F031JA04 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA38 ,  5F031KA06 ,  5F031KA08 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031NA05 ,  5F031PA14 ,  5F031PA20
引用特許：
審査官引用 (4件)
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