特許
J-GLOBAL ID：200903034711194360

マスク蒸着方法及び蒸着装置

発明者：
北爪 栄一

北爪 栄一 について

, 
水谷 和弘

水谷 和弘 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-259028
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075638
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：
【要約】【課題】 有機膜上にメタルマスクを密着させて蒸着を行う際に、有機膜にダメージを与えることのない蒸着方法を提供する。【解決手段】 有機膜の形成された被蒸着基板33にメタルマスク32を磁力により密着保持して該有機膜上に蒸着を行う際、該被蒸着基板のメタルマスク当接面の反対の面にメタルマスクのパターン領域よりも大きい磁石36を設置し、前記磁石36によりメタルマスク32を被蒸着基板33に対して0.98kPa〜98kPaの吸着力で保持し、好ましくは被蒸着基板33と磁石36間に通磁性の中間基板35を挿入する。
請求項（抜粋）：
有機膜の形成された被蒸着基板にメタルマスクを磁力により密着保持して該有機膜上に蒸着を行うマスク蒸着方法において、該被蒸着基板のメタルマスク当接面の反対の面にメタルマスクのパターン領域よりも大きい磁石を設置し、前記磁石によりメタルマスクを被蒸着基板に対して0.98kPa〜98kPaの吸着力で保持したことを特徴とするマスク蒸着方法。
IPC (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/24 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14
FI (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/24 G ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A
Fターム (12件)：
3K007AB18 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04
引用特許：
審査官引用 (9件)
  • 有機着色薄膜の製造法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-360362   出願人：日本ペイント株式会社, 科学技術振興事業団, 村山洋一, 柏木邦宏
  • 特開平4-110461
  • 金属箔マスク用磁力保持装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-107478   出願人：バルツェルス・ホーホバークウム・アクチェンゲゼルシャフト
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