特許
J-GLOBAL ID：200903011133210030
プローブおよびこのプローブを用いたプローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-106974
公開番号（公開出願番号）：特開2001-289874
出願日： 2000年04月07日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【目的】 クリーニング作業を頻繁にしなくても接触抵抗を低く安定化させられるプローブおよびこのプローブを用いたプローブカードを提供する。【構成】 プローブカード10は、垂直作動式のものであって、プローバー900にセットされた測定対象物であるウエハ800上の半導体集積回路810の電極パッド811に対して垂直に接触するプローブ200と、このプローブ200を支持する支持体300とからなるプローブユニット100と、プローブ200が接続される配線パターン511が形成されており、プローブユニット100が取り付けられる基板500とを備えている。プローブ200は、タングステンまたはレニウムタングステンからなるプローブにおいて、先端側の接触部210の少なくとも先端部211に金属を含むDLC膜205を形成したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
タングステンまたはレニウムタングステンからなるプローブにおいて、先端側の接触部の少なくとも先端部に金属を含むDLC(Diamond Like Carbon)膜を形成したことを特徴とするプローブ。
IPC (3件)：
G01R 1/067
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/067 J
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
2G003AA07
, 2G003AB01
, 2G003AG03
, 2G003AG12
, 2G011AA02
, 2G011AA16
, 2G011AB06
, 2G011AC14
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106AD01
, 4M106BA01
, 4M106CA15
, 4M106CA56
, 4M106DD10
, 4M106DD18
, 4M106DD30
, 4M106DJ32
