特許
J-GLOBAL ID：200903011162637964

光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置

発明者：
沢野 充

沢野 充 について

, 
磯崎 真

磯崎 真 について


出願人/特許権者：
富士写真フイルム株式会社

富士写真フイルム株式会社 について

, 
富士写真光機株式会社

富士写真光機株式会社 について


代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-396578
公開番号（公開出願番号）：特開2003-195201
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：
【要約】【課題】 光透過を可能にする波長マージンを広くすることができ、それにより、膜厚精度、光学系組み込み精度、入射光の波長精度等を緩めることができる光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置を得る。【解決手段】 それぞれが干渉膜を備え変調する光に対して透明な第一平面基板23と可動薄膜27とを空隙25を隔てて平行に対向配置し、第一平面基板23及び可動薄膜27のそれぞれに設けた平面電極31,37への電圧印加により発生させた静電気力によって可動薄膜27を第一平面基板23に対して変位させ、可動薄膜27を透過又は反射する光量を変化させる光変調素子21において、可動薄膜27を挟んで第一平面基板23の反対側に、干渉膜45を備え変調する光に対して透明な第二平面基板47を、空隙26を隔てて平行に対向配置した。
請求項（抜粋）：
それぞれが干渉膜を備え変調する光に対して透明な第一平面基板と可動薄膜とを空隙を隔てて平行に対向配置し、前記第一平面基板及び前記可動薄膜のそれぞれに設けた平面電極への電圧印加により発生する静電気力によって、前記可動薄膜を前記第一平面基板に対して変位させ、前記可動薄膜を透過又は反射する光量を変化させる光変調素子であって、前記可動薄膜を挟んで前記第一平面基板の反対側に、干渉膜を備え変調する光に対して透明な第二平面基板を、空隙を隔てて平行に対向配置したことを特徴とする光変調素子。
IPC (7件)：
G02B 26/08 ,  B41J 2/445 ,  G02B 26/10 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 511 ,  H04N 1/04 ,  H04N 1/19
FI (7件)：
G02B 26/08 J ,  G02B 26/10 G ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 511 ,  H04N 1/04 B ,  B41J 3/21 V ,  H04N 1/04 102
Fターム (29件)：
2C162AE12 ,  2C162AE23 ,  2C162AE28 ,  2C162AE48 ,  2C162AE77 ,  2C162FA09 ,  2C162FA10 ,  2C162FA44 ,  2H041AA23 ,  2H041AB38 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H045AG09 ,  2H045DA31 ,  2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097CA17 ,  2H097GA50 ,  2H097LA09 ,  2H097LA11 ,  5C072AA03 ,  5C072BA20 ,  5C072HA02 ,  5C072HA08 ,  5C072HB04 ,  5C072HB06 ,  5C072MA01 ,  5C072NA01
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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