特許
J-GLOBAL ID:200903011252793485
光学部材検査装置,画像処理装置,及び、コンピュータ可読媒体
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
金井 英幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-211535
公開番号(公開出願番号):特開2000-046691
出願日: 1998年07月27日
公開日(公表日): 2000年02月18日
要約:
【要約】【課題】 検査対象光学部材を撮像して得られた画像データを2値化した後で、同一の不良要因に起因しているが二値化の過程で分離されてしまった複数の抽出要素を合理的にグループ化することができる光学部材検査装置を、提供する。【解決手段】画像メモリ領域62a内に検査対象光学部材9に対応する原画像データが合成されると、CPU60は、ノイズの輝度値よりも高い二値化閾値を基準としてこの原画像データを二値化することによって、二値化画像データを生成する。CPU60は、この二値化画像データに含まれる各抽出要素を細線化処理するとともに、任意の二つの細線化抽出要素の互いに近接した端点同士を結ぶ線分の長さ,並びに、この線分と各細線化抽出要素の方向を示すベクトルとが所定の条件を満たす場合には、これら二つの細線化抽出要素の元となった抽出要素が、同一の不良要因に起因するものと判定する。
請求項(抜粋):
検査対象光学部材を撮像して当該検査対象光学部材の像を含む原画像データを出力する撮像装置と、この撮像装置から出力された原画像データを所定の閾値を基準として、前記原画像データに混入したノイズが除去され且つ不良要因に起因する要素が抽出されるように二値化して、二値化画像データを生成する二値化手段と、前記二値化手段によって生成された二値化画像データを格納するメモリと、このメモリに格納されている前記二値化画像データに含まれる個々の前記要素を細線化して、当該要素の骨格を示す細線化要素に変換する細線化手段と、この細線化手段によって変換された任意の二つの細線化要素同士を比較し、これら二つの細線化要素における互いに近接した端点同士を結ぶ線分の長さ,前記二つの細線化要素のうちの一方の方向を示すベクトルと前記線分とがなす第1角度,及び、前記二つの細線化要素のうちの他方の方向を示すベクトルと前記線分とがなす第2角度が所定の条件を示す場合に、前記二つの細線化要素同士をグループ化するグループ化手段と、前記グループ化手段によってグループ化された前記各細線化要素の元となった前記二値化画像データ中の要素群の全体としての図形的特徴量を算出する図形的特徴量算出手段と、この図形的特徴量算出手段によって算出された図形的特徴量に基づいて前記検査対象光学部材の良否判定を行う良否判定手段とを有することを特徴とする光学部材検査装置。
Fターム (2件):
引用特許: