合成石英ガラス部材

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小島隆司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-357372
公開番号（公開出願番号）：特開2003-238195
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：

【要約】【解決手段】成長方向に沿って周期的に脈理を有する合成石英ガラスインゴットを均質化して得られる下記特性の合成石英ガラス部材。(i)使用方向及びオフ軸方向の脈理グレードが米国ミリタリー規格でAクラス(ii)使用方向及びオフ軸方向のOH基濃度をそれぞれオフ軸方向及び使用方向に平均化した際の平均値が700〜1000ppm(iii)使用方向及びオフ軸方向の仮想温度をそれぞれオフ軸方向及び使用方向に平均化した際の平均値が850〜980°C(iv)合成石英ガラスの使用方向における波長633nmの光に対する屈折率分布Δnが1×10-6以下【効果】本発明によれば、ArFエキシマレーザー用として好適な、透過率が良好で、レーザーの照射に際して劣化の少ない合成石英ガラス部材を提供できる。

請求項（抜粋）：

成長方向に沿って周期的に脈理を有する合成石英ガラスインゴットを均質化して得られる、直径150〜380mm、厚さ50〜150mmの略円柱形状を有する塩素を実質的に含有しない合成石英ガラス部材であって、(i)使用方向及びオフ軸方向の脈理グレードが米国ミリタリー規格(MIL-G-174B規格)でAクラスであること、(ii)使用方向及びオフ軸方向のOH基濃度をそれぞれオフ軸方向及び使用方向に平均化した際の平均値が700〜1000ppmであること、(iii)使用方向及びオフ軸方向の仮想温度をそれぞれオフ軸方向及び使用方向に平均化した際の平均値が850〜980°Cであること、(iv)合成石英ガラスの使用方向における波長633nmの光に対する屈折率分布Δnが1×10-6以下であることを特徴とする合成石英ガラス部材。

IPC (2件)：

C03C 3/06 , C03B 20/00

FI (3件)：

C03C 3/06 , C03B 20/00 F , C03B 20/00 G

Fターム (58件)：

4G014AH00 , 4G062AA04 , 4G062BB02 , 4G062DA08 , 4G062DB01 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM02 , 4G062NN01 , 4G062NN16

引用特許：

出願人引用 (6件)

光学用合成石英ガラス成形体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-093990 出願人：信越石英株式会社, ヘレウスクワルツグラスゲーエムベーハー
耐紫外線性を有する石英ガラスの製造方法および石英ガラス光学部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-211216 出願人：株式会社ニコン
特開平1-212247号公報

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