特許
J-GLOBAL ID：200903011336791518
閉ループ圧電ポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
後藤 政喜
, 松田 嘉夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-112407
公開番号（公開出願番号）：特開2004-316650
出願日： 2004年04月06日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：
【課題】 閉ループ制御により圧電ポンプの流体のポンピング精度を高めることを可能とする。 【解決手段】 ポンプ筐体102の中に可動隔膜108が配置され、ポンピング室106が画定される。ポンピング室106には、流体をポンピング室106内に吸い込むための入口112と、流体を吐出させるための出口114とを有する。圧電変換器110が可動隔膜108に結合されていて、矢印118に沿う方向に作動して可動隔膜108を動かす。可動隔膜108が動くとポンピング室106の容積が変化し、液体の吸い込み・吐出が行われる。圧電変換器110はまた、ポンピング室106内の圧力の変動に応じた信号を出力可能で、この信号に基づいてポンピングを閉ループ制御する。 【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
ポンプ筐体(102)と、
前記ポンプ筐体内に配置されて、前記ポンプ筐体内にポンピング室(106)を画定する可動隔膜(108)であって、前記ポンピング室が、流体が前記ポンピング室内に入るための入口(112)と、流体を吐出させるための出口(114)とを有する可動隔膜(108)と、
前記可動隔膜(108)に結合されて、前記可動隔膜を動かすように作動し、その結果、前記ポンピング室(106)の容積を変化させる圧電変換器(110)とを備え、
前記圧電変換器(110)が、前記ポンピング室(106)内の圧力の変動を感知するように構成されたことを特徴とする圧電ポンプ(100)。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04B43/04 B
, F04B43/02 F
3H077AA01
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077DD06
, 3H077EE05
, 3H077EE16
, 3H077FF03
, 3H077FF14
, 3H077FF36
, 3H077FF57
