特許
J-GLOBAL ID:200903011354155793
微細構造の転写方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-273577
公開番号(公開出願番号):特開2004-109641
出願日: 2002年09月19日
公開日(公表日): 2004年04月08日
要約:
【課題】母材の比較的大きな表面に対して型材の微細凹凸構造を低コストでかつ効率よく転写し得る方法を提供する。【解決手段】微細凹凸構造の転写方法において、型材(2)の微細凹凸構造を母材(1)の一表面に接触させ、ジュール熱を生じる熱源からの熱によって母材の少なくともその一表面を熱軟化させ、熱軟化した母材のその一表面に対して型材(2)の微細凹凸構造を押圧し、それによって、母材(1)のその一表面に型材(2)の微細凹凸構造が転写される。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
型材の微細構造を母材の一表面に接触させ、
ジュール熱を生じる熱源からの熱によって前記母材の少なくとも前記一表面を熱軟化させ、
その熱軟化した前記母材の前記一表面に対して前記型材の前記微細構造を押圧し、
それによって、前記母材の前記一表面に前記型材の前記微細構造が転写されることを特徴とする微細構造の転写方法。
IPC (3件):
G02B6/13
, C30B33/00
, G02B1/02
FI (3件):
G02B6/12 M
, C30B33/00
, G02B1/02
Fターム (9件):
2H047KA03
, 2H047PA26
, 2H047QA04
, 2H047TA43
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077FJ02
, 4G077FJ10
, 4G077HA20
引用特許:
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