ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-319070
公開番号（公開出願番号）：特開2002-122991
出願日： 2000年10月19日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とする分散度が2.2から10のポリマーと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(C)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基を示す。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。p+q>0である。)

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とする分散度が2.2から10のポリマーと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(C)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中R1は少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基、R3は水素、または炭素数1から20までの有機基を示す。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。p+q>0である。)

IPC (8件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08K 5/13 , C08K 5/28 , C08L 79/08 , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , H01L 21/312

FI (9件)：

G03F 7/037 501 , C08G 73/10 , C08K 5/13 , C08K 5/28 , C08L 79/08 A , G03F 7/004 501 , G03F 7/022 , H01L 21/312 D , H01L 21/312 B

Fターム (67件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025CB56 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J002CM041 , 4J002EF008 , 4J002EJ006 , 4J002EL138 , 4J002EN008 , 4J002EN028 , 4J002EQ037 , 4J002ER008 , 4J002GP03 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PA19 , 4J043PC065 , 4J043PC075 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043RA06 , 4J043SA06 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043SB02 , 4J043TA11 , 4J043TA13 , 4J043TA21 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043TB02 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA131 , 4J043UA262 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB122 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB401 , 4J043VA012 , 4J043VA021 , 4J043VA022 , 4J043VA052 , 4J043VA061 , 4J043VA062 , 4J043VA072 , 4J043VA092 , 4J043VA101 , 4J043VA102 , 4J043ZB22 , 5F058AC07 , 5F058AF04 , 5F058AG09 , 5F058AH02 , 5F058AH03

引用特許：

審査官引用 (4件)

ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-217692 出願人：住友ベークライト株式会社
感光性樹脂前駆体組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-285482 出願人：東レ株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-085194 出願人：住友ベークライト株式会社

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