特許
J-GLOBAL ID：200903011413915314

駆動機構、姿勢変化吸収体及び加工装置

発明者：
佐藤 正視

佐藤 正視 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 佐々木 功 ,  川村 恭子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-076386
公開番号（公開出願番号）：特開2008-229811
出願日： 2007年03月23日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：
【課題】テーブルのような各種の作用要素を移動させる機能を有する駆動機構において、作用要素の取付け精度を低下させることなく、作用要素に姿勢変化が生じるのを防止する。【解決手段】ガイドレール20aと、ガイドレール20aに係合して摺動する摺動体21aとガイドレール20aに沿って摺動体21aを移動させる駆動部と摺動体21aに固定される作用要素とを少なくとも備えた移動機構において、摺動体21aと作用要素との間に、摺動体21aに固定される摺動体固定部270と、作用要素に固定される作用要素固定部271と、摺動体固定部270の姿勢変化に対応して摺動体21aの移動方向に対して垂直な方向または水平な方向に湾曲して姿勢変化を吸収する吸収部272とを有する姿勢変化吸収体27aを介在させる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ガイドレールと、該ガイドレールに係合して摺動する摺動体と、該ガイドレールに沿って該摺動体を移動させる駆動部と、該摺動体に固定される作用要素とを少なくとも備えた移動機構であって、 該摺動体と該作用要素との間に介在する姿勢変化吸収体を備え、 該姿勢変化吸収体は、該摺動体に固定される摺動体固定部と、該作用要素に固定される作用要素固定部と、該摺動体の移動方向をX軸方向とし該X軸方向に対して水平な方向に直交する方向をY軸方向とし該X軸方向に対して垂直な方向に直交する方向をZ軸方向とした場合に該摺動体固定部の姿勢変化に対応して該X軸方向、該Y軸方向または該Z軸方向に湾曲して該姿勢変化を吸収する吸収部と から構成される駆動機構。
IPC (4件)：
B23Q 1/01 ,  H01L 21/301 ,  B24B 41/02 ,  B23Q 1/58
FI (4件)：
B23Q1/01 T ,  H01L21/78 F ,  B24B41/02 ,  B23Q1/58 Z
Fターム (12件)：
3C034AA19 ,  3C034BB12 ,  3C034BB15 ,  3C034BB34 ,  3C034BB42 ,  3C034BB73 ,  3C034BB75 ,  3C034DD20 ,  3C048BC02 ,  3C048DD01 ,  3C048EE06 ,  3C048EE10
引用特許：
出願人引用 (6件)
  • ウェーハの分割方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-114528   出願人：株式会社ディスコ
  • リニアガイド装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-297833   出願人：日本精工株式会社
  • 移動テーブル装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-069534   出願人：株式会社日立製作所
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