特許
J-GLOBAL ID：200903011504766672

ディスクリート・トラック方式の磁気記憶媒体の表面欠陥検査装置

発明者：
菊池 洋人

菊池 洋人 について


出願人/特許権者：
富士電機株式会社

富士電機株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 巖 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-346572
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148207
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：
【要約】【課題】 ディスクリート・トラック方式磁気記憶媒体の表面欠陥検査において、媒体偏心時にもトラック間に設けられた溝に影響されることなく表面欠陥の過不足ない検出を可能とする。【解決手段】 半径方向の測定領域をトラックピッチに比べて十分に長くとり、常に測定領域内に複数のトラックと溝を存在させて高さ情報を平均化させることによって、測定領域が溝を横切るときの高さ情報の変動を緩和して表面欠陥の適切な検出を可能とする。
請求項（抜粋）：
記録トラック間に溝を有する磁気記憶媒体の高さを光学的手段により測定して測定結果に基づき欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、測定スポットの長さを半径方向に少なくともトラックと溝を各1つ以上含む長さとすることを特徴とする光学式表面欠陥検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/95 ,  G01B 11/30 ,  G11B 5/84 ,  G11B 20/18 501 ,  G11B 20/18
FI (5件)：
G01N 21/95 A ,  G01B 11/30 A ,  G11B 5/84 C ,  G11B 20/18 501 C ,  G11B 20/18 501 D
Fターム (30件)：
2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC03 ,  2F065DD11 ,  2F065FF13 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065LL46 ,  2F065MM04 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA71 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051CA02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC03 ,  5D112AA24 ,  5D112JJ03 ,  5D112JJ05 ,  5D112JJ09
引用特許：
審査官引用 (13件)
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