円盤状記録媒体の検査装置及び検査方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-078192
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275182
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】円盤状記録媒体を非破壊で高精度且つ高速に検査する。【解決手段】レーザ発振器4から出射したレーザ光を、光ファイバ8、回転拡散板10及び対物レンズ13を介してディスク2に照射する。レーザ光がディスク2に反射して戻ってきた戻り光を固体撮像素子15で撮像する。固体撮像素子15から出力される出力画像に対して、演算処理部6によって演算処理を施し、ディスク2の信号記録面の表面形状を検査する。

請求項（抜粋）：

円盤状記録媒体の信号記録面における表面形状を検査する検査装置であって、上記信号記録面に対して所定の波長域の光を照射するとともに、この光が当該信号記録面に反射して戻ってきた戻り光を撮像する撮像手段と、上記撮像手段の出力画像を演算処理する演算手段とを備え、上記演算手段の処理結果に基づいて上記信号記録面の表面形状を検査することを特徴とする円盤状記録媒体の検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G11B 7/26 , G11B 23/00

FI (3件)：

G01N 21/88 630 A , G11B 7/26 , G11B 23/00 H

Fターム (20件)：

2G051AA71 , 2G051AB07 , 2G051AB20 , 2G051BA05 , 2G051BA10 , 2G051BB03 , 2G051BB09 , 2G051BB17 , 2G051BB20 , 2G051CA03 , 2G051DA08 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA25 , 2G051EB01 , 2G051EC03 , 2G051EC10 , 5D121HH04 , 5D121HH11 , 5D121HH18

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開昭62-109246
光ディスク原盤観察装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-152315 出願人：日本電気株式会社
マスク検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-229882 出願人：株式会社東芝

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