特許
J-GLOBAL ID:200903011609709160
蛍光体検査方法及び蛍光体検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
小川 勝男
, 田中 恭助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-294500
公開番号(公開出願番号):特開2005-024572
出願日: 2004年10月07日
公開日(公表日): 2005年01月27日
要約:
【課題】 プラズマディスプレイ等のガラス基板に塗布された蛍光体ストライプの塗布むらの検査において、ストライプ状に塗布された蛍光体の非発光部分の影響によるモアレ現象の発生および蛍光体ストライプを発光させるために用いる紫外線照明の照明むらにより蛍光体ストライプの塗布むらを適正に検査できないという問題がある。 【解決手段】 基板に形成され、複数のほぼ等間隔に配列された蛍光体に電磁波または粒子線を照射し、上記蛍光体から発光する光を撮像し、上記撮像された画像の信号レベルを検出し、上記信号レベルの所定値以上の信号レベルに相当する部分の平均値を算出し、上記算出した平均値に基づいて上記蛍光体の塗布むらを検出するように構成される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板に形成され、複数のほぼ等間隔に配列された蛍光体に電磁波または粒子線を照射し、上記蛍光体から発光する光を撮像し、上記撮像された画像の信号レベルを検出し、上記信号レベルの所定値以上の信号レベルに相当する部分の平均値を算出し、上記算出した平均値に基づいて上記蛍光体の塗布むらを検出することを特徴とする蛍光体検査方法。
IPC (3件):
G01N21/88
, H01J9/42
, H01J11/02
FI (3件):
G01N21/88 Z
, H01J9/42 A
, H01J11/02 B
Fターム (29件):
2G043AA03
, 2G043CA07
, 2G043DA02
, 2G043EA01
, 2G043FA01
, 2G043GA08
, 2G043GB21
, 2G043KA03
, 2G043LA03
, 2G043NA01
, 2G043NA06
, 2G051AA42
, 2G051AA90
, 2G051AB12
, 2G051BA05
, 2G051CA03
, 2G051CC07
, 2G051CC15
, 2G051DA06
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EC02
, 2G051EC03
, 5C012AA09
, 5C012BE03
, 5C040GG09
, 5C040JA26
, 5C040MA24
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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