特許
J-GLOBAL ID：200903011920621853
酸感応性化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鍬田 充生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-030804
公開番号（公開出願番号）：特開2003-277446
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】 耐エッチング液性が高く、光照射により可溶化できるフォトレジスト用樹脂組成物により微細なパターンを形成する。【解決手段】 下記式(11a)又は(12a) で表される単量体に対応する単量体単位と、ラクトン骨格を有する単量体単位とを含むフォトレジスト用共重合体と、光酸発生剤とでフォトレジスト用樹脂組成物を構成する。共重合体における単量体(11a)及び(12a)の割合は、15〜90重量%であってもよい。【化1】(式中、R1およびR2は同一又は異なってC1-4アルキル基を示し、R3は水素原子又はメチル基を示す。)
請求項（抜粋）：
下記式(11a)又は(12a)【化1】(式中、R1およびR2は同一又は異なってC1-4アルキル基を示し、R3は水素原子又はメチル基を示す。)で表される単量体に対応する単量体単位と、ラクトン骨格を有する単量体単位とを含むフォトレジスト用共重合体。
IPC (4件)：
C08F220/18
, C08F220/28
, G03F 7/039 601
, H01L 21/027
C08F220/18
, C08F220/28
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
