特許

J-GLOBAL ID：200903090284548285

レジスト組成物及びレジストパターンの形成方法

発明者： 野崎 耕司 ,  矢野 映 ,  渡部 慶二 ,  並木 崇久 ,  五十嵐 美和 ,  倉光 庸子 ,  武智 敏 ,  小太刀 明子 ,  高橋 真
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-312722
公開番号（公開出願番号）：特開平9-090637
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 実用可能な感度で、膨潤のない微細なレジストパターンを形成できるレジスト組成物の提供。【解決手段】 化学増幅型のレジスト組成物において、光酸発生剤とともにそれに含まれる酸感応性重合体が、次式(I)により表されるラクトン部分:(上式において、Rは、1〜4個の炭素原子を有する直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基を表し、置換もしくは非置換のいずれであってもよく、そしてnは1〜4の整数である)をカルボキシル基の保護基として含んでなるように構成する。

請求項（抜粋）：

モノマー単位の側鎖に保護基含有カルボキシル基を有する皮膜形成性の重合体であって、自体塩基性水溶液に不溶であり、但し、前記カルボキシル基の保護基が側鎖から脱離した場合、塩基性水溶液に可溶となり得る酸感応性重合体と、結像用放射線を吸収して分解すると前記カルボキシル基の保護基の脱離を惹起し得る酸を発生可能である光酸発生剤とを含んでなり、その際、前記酸感応性重合体が、次式(I)により表されるラクトン部分:【化1】(上式において、Rは、1〜4個の炭素原子を有する直鎖もしくは分岐鎖のアルキル基を表し、置換もしくは非置換のいずれであってもよく、そしてnは1〜4の整数である)を前記カルボキシル基の保護基として含有することを特徴とする、塩基性水溶液で現像可能なレジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 569 F

引用特許：

審査官引用 (6件)

• 分解性化合物および分解性樹脂並びにこれらを用いた感光性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-327775   出願人：三菱電機株式会社
• 放射線感光材料及びパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-276597   出願人：富士通株式会社
• レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-156818   出願人：富士通株式会社
• 感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-334643   出願人：日本電気株式会社
• 特開平4-050946
  
• レジスト材料及びレジストパターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-050264   出願人：富士通株式会社