特許

J-GLOBAL ID：200903011941914915

導電性硬質炭素皮膜

発明者： 入江 美紀 ,  内海 慶春 ,  大原 久典
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-131095
公開番号（公開出願番号）：特開2002-327271
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】 良好な耐摩耗性、耐酸化性及び耐食性を有し、導電性部材同士の接触する用途や工程、又は腐食環境下において用いられる導電性硬質炭素皮膜及びその被覆部材を提供することを目的とする。【解決手段】 SP2結合性結晶の少なくとも一部が、膜厚方向に連続的に連なった構造を有する導電性硬質炭素皮膜を用いる。

請求項（抜粋）：

SP2結合性結晶の少なくとも一部が、膜厚方向に連続的に連なった構造を有する導電性硬質炭素皮膜。

IPC (5件)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 ,  C01B 31/02 ,  C01B 31/04 101 ,  C23C 14/06

FI (5件)：

C23C 16/26 ,  C01B 31/02 101 F ,  C01B 31/02 101 Z ,  C01B 31/04 101 Z ,  C23C 14/06 F

Fターム (27件)：

4G046CA02 ,  4G046CB00 ,  4G046CB03 ,  4G046CB09 ,  4G046CC06 ,  4K029BA02 ,  4K029BA07 ,  4K029BA17 ,  4K029BA34 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC03 ,  4K029BD03 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029CA06 ,  4K029DB05 ,  4K029DB17 ,  4K029DC05 ,  4K029DD06 ,  4K030AA10 ,  4K030BA27 ,  4K030BB01 ,  4K030FA03 ,  4K030KA20 ,  4K030LA01 ,  4K030LA11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 硬質薄膜の製造方法および硬質薄膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-183644   出願人：高井治
• 炭素被覆、炭素被覆を施す方法および装置、およびその様な被覆を施した物品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-339168   出願人：ティーアコーティングズリミテッド
• 電界電子放出装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-006888   出願人：株式会社ノリタケカンパニーリミテド, 財団法人ファインセラミックスセンター
• 特開昭60-127210