特許

J-GLOBAL ID：200903011973903095

静電吸着装置を用いた吸着方法

発明者： 太田 淳 ,  森中 泰三 ,  谷 典明
出願人/特許権者： 株式会社アルバック
代理人 (2件)： 石島 茂男 ,  阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-078673
公開番号（公開出願番号）：特開2006-261489
出願日： 2005年03月18日
公開日（公表日）： 2006年09月28日
要約：

【課題】絶縁性のフィルムを隙間無く吸着する静電吸着装置を用いた吸着方法の提供。【解決手段】吸着装置10は、絶縁性の電極基盤11と電極基盤1の表面に同心状に配置された複数の電極21〜36を有している。電極21〜36の隣り合う二個を一組とし、内側の組から外側の組に向けて一定時間毎に段階的に大きな電圧を印加する。複数の領域A〜Dに区分けし、各領域A〜D毎に電圧を印加してもよい。絶縁性でフィルム状の吸着対象物を吸着する際、浮きが外側に押し出されるため、吸着対象物と吸着装置との間の密着性が向上する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

同心状に配置され、互いに絶縁された複数の電極を有する吸着装置の前記電極上に電気絶縁性の吸着対象物を配置し、 前記電極のうち、隣接する二個の電極を一組の正電極と負電極とし、前記正電極に正電圧を印加し、前記負電極に負電圧を印加して前記吸着対象物を吸着する吸着方法であって、 中心に位置する組から外側に位置する組に向け、所定時間毎に段階的に大きくなる電圧を印加する吸着方法。

IPC (2件)：

H01L 21/683 ,  H02N 3/00

FI (2件)：

H01L21/68 R ,  H02N3/00 B

Fターム (9件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA09 ,  5F031HA18 ,  5F031HA19 ,  5F031HA38 ,  5F031MA29 ,  5F031PA11 ,  5F031PA14

引用特許：

出願人引用 (2件)

• レーザ加工装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-260649   出願人：日新電機株式会社
• 成膜方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-173899   出願人：株式会社アルバック

審査官引用 (3件)

• 特開平4-236449
  
• 静電チャックユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-224523   出願人：東陶機器株式会社
• 基板吸着装置、チャックおよび保持装置ならびにそれらを用いた露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-343676   出願人：キヤノン株式会社