特許
J-GLOBAL ID：200903011993136392
容量型力学量センサおよび半導体装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-106297
公開番号（公開出願番号）：特開2006-053125
出願日： 2005年04月01日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
【課題】 小型で信頼性や量産性が高い容量型力学量センサを提供すること。【解決手段】 下側電極から上側電極への信号伝達に、電気的には絶縁され機械的には一部分しか分割されていないシリコン柱を用いる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第一の電極が設けられた第一の絶縁体と第二の電極が設けられた第二の絶縁体と、力学量により変位する錘が形成された半導体とからなり、前記第一の絶縁体と前記第二の絶縁体は前記半導体をはさんで積層されており、前記錘の変位による、前記錘と前記第一の電極との間の容量値変化から前記力学量を測定する容量型力学量センサにおいて、前記第一の電極が前記第二の電極に電気的な接続することを可能とするように前記半導体に柱を形成し、前記柱は導電性の上部と絶縁性の中部と導電性の下部から構成され、前記導電性の上部には前記導電性の下部と電気的に接続された電気的接続手段を有し、前記柱の上部は、他の柱と機械的に分離されてなく、前記電気的接続手段は他の柱の上部に設けられた電気的接続手段とは電気的に分離されていることを特徴とする容量型力学量センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/125 Z
, G01P15/08 P
