耐蝕性部材、ウエハー設置部材および耐蝕性部材の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-325171
公開番号（公開出願番号）：特開平11-080925
出願日： 1997年11月12日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】特に500°C以上の高温領域において、ハロゲン系腐食性ガスのプラズマに対してを暴露したときにも、腐食を防止し、パーティクルの発生を防止できるような耐蝕性部材を提供する。【解決手段】ハロゲン系腐食性ガスのプラズマに対する耐蝕性部材であって、本体と、この本体の表面に形成されている耐蝕層とを備えており、耐蝕層が、希土類元素およびアルカリ土類元素からなる群より選ばれた一種以上の元素のフッ化物を含有していることを特徴とする。好ましくは、耐蝕層がフッ化物からなる膜であり、また本体が窒化アルミニウムセラミックスからなる。

請求項（抜粋）：

ハロゲン系腐食性ガスのプラズマに対する耐蝕性部材であって、本体と、この本体の表面に形成されている耐蝕層とを備えており、前記耐蝕層が、希土類元素およびアルカリ土類元素からなる群より選ばれた一種以上の元素のフッ化物を含有していることを特徴とする、耐蝕性部材。

IPC (4件)：

C23C 8/36 , C04B 41/87 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (4件)：

C23C 8/36 , C04B 41/87 Z , H01L 21/205 , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-066657
特開平4-191379
特開平4-099282

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