シリコン単結晶の製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-097704
公開番号（公開出願番号）：特開平9-263491
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】ヒーターに流れる電流が大きく、高強度の磁場が印加されて、使用されるヒーターが大口径であっても、ヒーターが破壊されることなく、シリコン単結晶を製造することができる、シリコン単結晶の製造装置を提供する。【解決手段】ルツボ、ヒーター、電極および磁石を備えた、シリコン単結晶の製造装置において、ヒーターは、複数個の発熱部および2個の主電極部に加えて、2個以上の補助電極部を有し、かつ、ヒーターを補助電極部を介して支持するための2個以上の絶縁性のヒーター支持体がさらに設けられ、かつ、ヒーター支持体と電極の間、隣接するヒーター支持体がある場合には隣接するヒーター支持体とヒーター支持体の間のヒーターの発熱部の数が、4以下であり、かつ、ヒーターの発熱部の厚さが25mm以上である、シリコン単結晶の製造装置。

請求項（抜粋）：

シリコン融液を収容するための回転自在のルツボと、ルツボの外周を囲繞するように設けられたヒーターと、ヒーターに直流電流を供給する電極と、ルツボに収容されるシリコン融液に水平方向の磁場を印加する磁石を備えた、シリコン単結晶の製造装置において、ヒーターは、複数個の発熱部および2個の主電極部に加えて、2個以上の補助電極部を有し、かつ、ヒーターを補助電極部を介して支持するための2個以上の絶縁性のヒーター支持体がさらに設けられ、かつ、ヒーター支持体と電極の間および隣接するヒーター支持体がある場合には隣接するヒーター支持体とヒーター支持体の間に存在するヒーターの発熱部の数が4以下であることを特徴とする、シリコン単結晶の製造装置。

IPC (4件)：

C30B 29/06 502 , C30B 15/14 , C30B 33/04 , H01L 21/208

FI (4件)：

C30B 29/06 502 E , C30B 15/14 , C30B 33/04 , H01L 21/208 P

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-260687
高抵抗値単結晶シリコン
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-305548 出願人：三菱マテリアル株式会社
シリコン単結晶の引上げ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-348926 出願人：信越半導体株式会社

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