特許
J-GLOBAL ID:200903012135662414

透明板状体の欠点検出方法および検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-328240
公開番号(公開出願番号):特開2001-141662
出願日: 1999年11月18日
公開日(公表日): 2001年05月25日
要約:
【要約】【課題】欠点で散乱される光の強さは、欠点の大きさと形状に依存し、ヘアラインと呼ばれるような非常に微細なキズにおいては、散乱される光が弱く、像として検出することが困難であった。【解決手段】透明板状体に光を当て、透過する光を用いる透明板状体の欠点検出方法において、散乱光を透明板状体に入射し、該透明板状体をCCDカメラで撮影し、CCDカメラと透明板状体との間に、光源とCCDカメラを結ぶ直線上で移動可能な遮光板を設けて、光源の光が直接カメラに入射しないようにする。
請求項(抜粋):
透明板状体に光を当て、透過する光を用いる透明板状体の欠点検出方法において、多点を光源にする散乱光を透明板状体に入射し、該透明板状体をCCDカメラで撮影し、CCDカメラと透明板状体との間に、光源とCCDカメラを結ぶ直線上で移動可能な遮光板を設けて、光源の光が直接カメラに入射しないようにしたことを特徴とする欠点検出方法。
IPC (2件):
G01N 21/896 ,  G06T 1/00 300
FI (2件):
G01N 21/896 ,  G06T 1/00 300
Fターム (17件):
2G051AA42 ,  2G051AA84 ,  2G051AB02 ,  2G051BB03 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB02 ,  2G051CB05 ,  2G051EA11 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CE12 ,  5B057CE15 ,  5B057DA03 ,  5B057DC09
引用特許:
審査官引用 (4件)
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