2軸移動機構および塗膜付着強度・せん断強度測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有近紳志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-173418
公開番号（公開出願番号）：特開2006-349398
出願日： 2005年06月14日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：

【課題】高い位置精度で切刃(5)を水平移動・垂直移動させる。【解決手段】第1辺(21)を水平に保って基台(1)に支持され且つ第2辺(22)を第1辺(21)と平行を保って弾性変形しうる水平用弾性平行リング(2)、第1辺(31)を垂直に保って水平用弾性平行リング(2)の第2辺(22)に支持され且つ第2辺(32)を第1辺(31)と平行を保って弾性変形しうる垂直用弾性平行リング(3)、水平用弾性平行リング(2)の第2辺(22)の一端に水平力Fhを加えて水平用弾性平行リング(2)を弾性変形させる水平用フォースコイル(6)および垂直用弾性平行リング(3)の第2辺(32)の一端に垂直力Fvを加えて垂直用弾性平行リング(3)を弾性変形させる垂直用フォースコイル(7)を具備する。【効果】摺動部分がないため、クリアランスがなく、高い位置精度で切刃(5)を水平移動・垂直移動させることが出来る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1辺(21)を水平に保って基台(1)に支持され且つ第2辺(22)を前記第1辺(21)と平行を保って弾性変形しうる水平用弾性平行リング(2)と、第1辺(31)を垂直に保って前記水平用弾性平行リング(2)の前記第2辺(22)に支持され且つ第2辺(32)を前記第1辺(31)と平行を保って弾性変形しうる垂直用弾性平行リング(3)と、前記水平用弾性平行リング(2)の前記第2辺(22)の一端に水平力Fhを加えて前記水平用弾性平行リング(2)を弾性変形させるための水平変位付与手段(6)と、前記垂直用弾性平行リング(3)の前記第2辺(32)の一端に垂直力Fvを加えて前記垂直用弾性平行リング(3)を弾性変形させるための垂直変位付与手段(7)とを具備したことを特徴とする2軸移動機構。

IPC (3件)：

G01N 19/04 , G01N 3/00 , G01N 3/24

FI (3件)：

G01N19/04 C , G01N3/00 P , G01N3/24

Fターム (7件)：

2G061AA11 , 2G061AB01 , 2G061BA01 , 2G061CB20 , 2G061CC01 , 2G061EA01 , 2G061EA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

塗膜付着強度・せん断強度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-068820 出願人：ダイプラ・ウィンテス株式会社
微小硬さ試験機
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-142331 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

審査官引用 (7件)

微動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-029300 出願人：セイコーエプソン株式会社, セイコー電子工業株式会社
情報記録及び/又は再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-276950 出願人：キヤノン株式会社
特開平3-175302

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