特許

J-GLOBAL ID：200903012237549809

浮上搬送装置及び浮上搬送方法

発明者： 都田 昌之 ,  梅田 優
出願人/特許権者： 株式会社渡辺商行 ,  都田 昌之
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-189444
公開番号（公開出願番号）：特開2006-008347
出願日： 2004年06月28日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】 被搬送体が搬送路中心からずれてしまった場合の調整を行うことができる浮上搬送装置を提供する。【解決手段】 被搬送体の搬送経路を形成する搬送路と、被搬送体を前記搬送路に沿って浮上搬送する複数の噴射ノズルと、前記搬送路中における被搬送体の搬送方向を検出する一つ以上の検出部と、該検出部の検出結果に基づいて前記複数の噴射ノズルを独立して制御する制御部とを備えていることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被搬送体の搬送経路を形成する搬送路と、被搬送体を前記搬送路に沿って浮上搬送する複数の噴射ノズルと、前記搬送路中における被搬送体の搬送方向を検出する一つ以上の検出部と、該検出部の検出結果に基づいて前記複数の噴射ノズルを独立して制御する制御部とを備えていることを特徴とする浮上搬送装置。

IPC (3件)：

B65G 51/03 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/677

FI (3件)：

B65G51/03 E ,  B65G49/07 K ,  H01L21/68 A

Fターム (4件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA63

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 浮上搬送装置用の気体噴出構造および噴出孔形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-244644   出願人：株式会社渡邊商行, 株式会社ワコム電創

審査官引用 (5件)

• 薄板状基体搬送装置及び薄板状基体搬送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-328052   出願人：株式会社渡邊商行
• 特開昭62-130925
  
• 部品の姿勢判別装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-346810   出願人：神鋼電機株式会社
• 特開昭62-130925
  
• 特開昭62-130925