特許

J-GLOBAL ID：200903012423999148

X線発生装置

発明者： 神高 典明 ,  近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059644
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260094
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 プラズマから出射される不要な電磁波を阻止するフィルターの表面に付着した飛散粒子を除去することにより、或いは前記標的部材及び/またはプラズマから放出される飛散粒子を阻止するフィルターの表面に付着した飛散粒子を除去することにより、フィルターのX線透過率の低下を防止し、その結果、長時間安定して使用できるX線発生装置を提供すること。【解決手段】 減圧された真空容器V内の標的部材211に励起エネルギービーム201を照射してプラズマ202を形成し、該プラズマ202からX線203を取り出すX線発生装置において、使用するX線を透過させるとともに、プラズマ202から出射される不要な電磁波を阻止するフィルター231と、該フィルター231の表面に励起エネルギービーム221を照射して、該フィルター表面231の付着物を除去する機構と、を設けたことを特徴とするX線発生装置。

請求項（抜粋）：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成し、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、使用するX線を透過させるとともに、プラズマから出射される不要な電磁波を阻止するフィルターと、該フィルターの表面に励起エネルギービームを照射して、該フィルター表面の付着物を除去する機構と、を設けたことを特徴とするX線発生装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• X線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-174601   出願人：株式会社ニコン
• 容器の窓の清浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-258967   出願人：三菱マテリアル株式会社
• X線発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-109872   出願人：株式会社ニコン