特許
J-GLOBAL ID：200903024688362190

感光性重合体組成物、レリーフパターンの製造法及び電子部品

発明者：
大江 匡之

大江 匡之 について

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布村 昌隆

布村 昌隆 について

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山崎 範幸

山崎 範幸 について

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安斎 隆徳

安斎 隆徳 について

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藤枝 永敏

藤枝 永敏 について


出願人/特許権者：
日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社

日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 について


代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109443
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305268
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】感度が高く、パターンの形状や未露光部の残膜率も良好なポジ型の感光性重合体組成物、該組成物を用いたレリーフパターンの製造法、該レリーフパターンを有する信頼性の高い電子部品を提供する。【解決手段】(a)一般式(I)(式中、Uは4価の有機基を示し、Vは2価の有機基を示す)で表される繰り返し単位を有するアルカリ水溶液可溶性のポリアミド、光により酸を発生する化合物、並びに、メチロール基とフェノール性水酸基とを有する化合物、アミノ基とフェノール性水酸基とを有する化合物、2つの芳香環が単結合又は2価の基(但し、メチレン基及びアルキリデン基を除く)を介して結合した構造を有し、かつ、前記芳香環の少なくとも1つはフェノール性水酸基を有する化合物、及び、3つ以上の芳香環を有し、かつ、前記芳香環の少なくとも1つはフェノール性水酸基を有する化合物から選択されるフェノール性水酸基を示す。
請求項（抜粋）：
(a)一般式(I)【化1】(式中、Uは4価の有機基を示し、Vは2価の有機基を示す)で表される繰り返し単位を有するアルカリ水溶液可溶性のポリアミド、(b)光により酸を発生する化合物、並びに、(c)メチロール基とフェノール性水酸基とを有する化合物(c1)、アミノ基とフェノール性水酸基とを有する化合物(c2)、2つの芳香環が単結合又は2価の基(但し、メチレン基及びアルキリデン基を除く)を介して結合した構造を有し、かつ、前記芳香環の少なくとも1つはフェノール性水酸基を有する化合物(c3)、及び、3つ以上の芳香環を有し、かつ、前記芳香環の少なくとも1つはフェノール性水酸基を有する化合物(c4)から選択されるフェノール性水酸基を有する化合物を含有してなる感光性重合体組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/037 501 ,  C08G 73/22 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/13 ,  C08L 79/04 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027
FI (8件)：
G03F 7/037 501 ,  C08G 73/22 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/13 ,  C08L 79/04 B ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (99件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA27 ,  2H096BA09 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  4J002CM031 ,  4J002EA048 ,  4J002EB118 ,  4J002ED058 ,  4J002EE038 ,  4J002EJ017 ,  4J002EJ037 ,  4J002EJ047 ,  4J002EJ057 ,  4J002EJ067 ,  4J002EN138 ,  4J002EQ018 ,  4J002EQ036 ,  4J002ET018 ,  4J002EV227 ,  4J002EV246 ,  4J002EV248 ,  4J002EV286 ,  4J002EV298 ,  4J002EW178 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002FD208 ,  4J002GJ02 ,  4J002GP03 ,  4J002GQ05 ,  4J043QB23 ,  4J043QB52 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043TA26 ,  4J043TA42 ,  4J043TA45 ,  4J043TA47 ,  4J043TA66 ,  4J043TB01 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA042 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB281 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB312 ,  4J043VA012 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA041 ,  4J043VA042 ,  4J043VA052 ,  4J043VA061 ,  4J043VA081 ,  4J043VA082 ,  4J043XA03 ,  4J043XA36 ,  4J043XB27 ,  4J043XB28 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA60 ,  4J043ZB02 ,  4J043ZB50
引用特許：
審査官引用 (4件)
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