特許
J-GLOBAL ID：200903012578038128

電子線装置及びその電子線装置を用いたデバイスの製造方法

発明者：
中筋 護

中筋 護 について

, 
加藤 隆男

加藤 隆男 について

, 
佐竹 徹

佐竹 徹 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (7件)： 社本 一夫 ,  千葉 昭男 ,  伊藤 茂 ,  星野 修 ,  神田 藤博 ,  内田 博 ,  宮前 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-205220
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047348
出願日： 2002年07月15日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】各々の電子ビームを光軸に合わせて形成し、かつ一枚のウェーハ内に多数の光軸を形成する手段を提供することにより、各電子ビームの収差を最小限にすることができる電子線装置を提供することである。【解決手段】この電子線装置1は一次電子線を集束して照射させるレンズを各電子銃毎に配列したレンズ群を備えている。レンズ群は、板厚の薄い薄板部55と板厚の大きいハリ部54とを有する絶縁部材の薄板部55において、各電子銃の光軸O1に対応した位置に複数の穴453を形成し、かつ前記絶縁部材の表面に選択的に金属のコーティング層を施してなる複数のレンズ電極R1ないしR4を備えている。各レンズ電極は光軸方向に隔てて配置されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
複数の電子銃から放出された一次電子線を集束して試料上に走査させて照射する電子線装置において、 前記一次電子線を集束して照射させるレンズを各電子銃毎に配列したレンズ群を備え、 前記レンズ群は、板厚の薄い薄板部と板厚の大きいハリ部とを有する絶縁部材の前記薄板部において各電子銃の光軸に対応した位置に複数の穴を形成し、かつ前記絶縁部材の表面に金属のコーティング層を施してなる複数のレンズ電極を備え、前記各レンズ電極は前記光軸方向に隔てて配置されていることを特徴とする電子線装置。
IPC (7件)：
H01J37/12 ,  G03F7/20 ,  H01J37/06 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66
FI (9件)：
H01J37/12 ,  G03F7/20 504 ,  G03F7/20 521 ,  H01J37/06 A ,  H01J37/147 B ,  H01J37/244 ,  H01L21/66 C ,  H01L21/30 541W ,  H01L21/30 541E
Fターム (20件)：
2H097AA03 ,  2H097BA10 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA10 ,  4M106DB05 ,  5C030BB05 ,  5C030BB06 ,  5C033CC01 ,  5C033GG01 ,  5C033NN01 ,  5C033NP04 ,  5C033NP05 ,  5F056AA33 ,  5F056CB29 ,  5F056CB31 ,  5F056EA02 ,  5F056EA05
引用特許：
審査官引用 (9件)
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