特許
J-GLOBAL ID：200903018023736162
電子光学系アレイ及びその製造方法、荷電粒子線露光装置、並びに、デバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-074736
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345260
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：
【要約】【課題】複数の電子レンズを有する電子光学系アレイを提供する。【解決手段】この電子光学系アレイは、複数の荷電粒子線の経路に沿って配置された複数の電極1、2、3を備えている。複数の電極1、2、3の各々は、複数の荷電粒子線の経路上に複数の開口が形成されたメンブレン1A、2A、3Aと、該メンブレンを支持する支持部1B、2B、3Bとを有する。複数の電極1、2、3は、入れ子構造が形成されるように配置されている。
請求項（抜粋）：
複数の電子レンズを有する電子光学系アレイであって、複数の荷電粒子線の経路に沿って配置された複数の電極を備え、前記複数の電極の各々は、該複数の荷電粒子線の経路上に複数の開口が形成されたメンブレンと、該メンブレンを支持する支持部とを有し、前記複数の電極のうち少なくとも2つの電極は、入れ子構造が形成されるように配置されていることを特徴とする電子光学系アレイ。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, H01J 37/12
, H01J 37/305
G03F 7/20 521
, H01J 37/12
, H01J 37/305 B
, H01L 21/30 541 B
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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