特許
J-GLOBAL ID：200903012596416610
軟X線光学素子用多層膜
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-194556
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039098
出願日： 1996年07月24日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 軽元素層より成る高屈折率層をアモルファス或は多結晶層を使用して形成する代りに、これらのクラスター結晶より成るカゴ状材料を使用して形成することにより、多層膜の密度を減少し、膜内における吸収損失を減少させて反射率、透過率および耐力を向上させた軟X線光学素子用多層膜を提供する。【解決手段】 軟X線波長領域において互いに光学屈折率の相違する物質(2、3)を交互に積層して軟X線を反射および透過させる軟X線光学素子用多層膜において、高屈折率層(3)を低密度材料を使用して形成した軟X線光学素子用多層膜。
請求項（抜粋）：
軟X線波長領域において互に光学屈折率の異なる物質を交互に積層して軟X線を反射および透過させる軟X線光学素子用多層膜において、高屈折率層を低密度材料を使用して形成したことを特徴とする軟X線光学素子用多層膜。
IPC (2件)：
G21K 1/06
, B32B 7/02 103
G21K 1/06 C
, B32B 7/02 103
