放射線撮像素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-194238
公開番号（公開出願番号）：特開2009-032854
出願日： 2007年07月26日
公開日（公表日）： 2009年02月12日
要約：

【課題】ノイズを効果的に抑制するとともに、高い画質を得ることができる放射線撮像素子を提供する。【解決手段】被写体を透過した放射線を吸収することにより発光する蛍光体膜8と、上部電極6、下部電極2、及び該上下の電極間に配置された光電変換膜4を有し、該光電変換膜が、前記蛍光体膜が発する光を吸収する有機光電変換材料を含む光電変換部13と、非晶質酸化物により形成された活性層24を有する電界効果型薄膜トランジスタ10を有し、前記光電変換部により発生した電荷に応じた信号を出力する信号出力部14と、前記信号出力部、前記光電変換部、及び前記蛍光体膜が順次積層した基板1と、を備え、前記信号出力部、前記光電変換部、及び前記蛍光体膜により構成される画素部が前記基板上に複数配列されており、各画素部における前記信号出力部と前記光電変換部とが重なりを有している放射線撮像素子12。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被写体を透過した放射線量に応じて撮像信号を出力する放射線撮像素子であって、前記被写体を透過した放射線を吸収することにより発光する蛍光体膜と、上部電極、下部電極、及び該上下の電極間に配置された光電変換膜を有し、該光電変換膜が、前記蛍光体膜が発する光を吸収する有機光電変換材料を含む光電変換部と、非晶質酸化物により形成された活性層を有する電界効果型薄膜トランジスタを有し、前記光電変換部により発生した電荷に応じた信号を出力する信号出力部と、前記信号出力部、前記光電変換部、及び前記蛍光体膜が順次積層した基板と、を備え、前記信号出力部、前記光電変換部、及び前記蛍光体膜により構成される画素部が前記基板上に複数配列されており、各画素部における前記信号出力部と前記光電変換部とが厚さ方向で重なりを有している放射線撮像素子。

IPC (4件)：

H01L 27/14 , H01L 31/09 , G01T 1/20 , H04N 5/32

FI (5件)：

H01L27/14 K , H01L31/00 A , G01T1/20 E , G01T1/20 G , H04N5/32

Fターム (37件)：

2G088EE01 , 2G088FF02 , 2G088GG10 , 2G088GG19 , 2G088GG20 , 2G088JJ05 , 2G088JJ31 , 2G088JJ37 , 2G088LL11 , 4M118BA05 , 4M118BA07 , 4M118CA14 , 4M118CA15 , 4M118CA32 , 4M118CB05 , 4M118CB11 , 4M118CB14 , 4M118EA01 , 4M118EA14 , 4M118FB13 , 4M118FB16 , 5C024AX12 , 5C024CX03 , 5C024CX41 , 5C024GX02 , 5C024GX07 , 5C024GX09 , 5C024GX16 , 5C024GX20 , 5F088AA02 , 5F088AB11 , 5F088BB07 , 5F088DA11 , 5F088EA04 , 5F088HA15 , 5F088KA01 , 5F088LA08

引用特許：

出願人引用 (1件)

光電変換装置、その駆動方法及びそれを有するシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-313392 出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (7件)

解像度可変型X線撮像装置及びX線CT装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-288864 出願人：富士フイルム株式会社
センサ及び非平面撮像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-325368 出願人：キヤノン株式会社, 国立大学法人東京工業大学
放射線検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-363544 出願人：キヤノン株式会社

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