特許
J-GLOBAL ID：200903012731960279
粒子分布状態測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-020506
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221237
出願日： 1997年02月03日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】この発明は、例えば液晶表示板に使用されるスペーサ粒子の分布状態のような粒子分布状態測定装置を提供することを課題とする。【解決手段】液晶表示板11は薄膜トランジスタに対応する電極の形成されたアレイ基板111 と、対向電極の形成された対向電極112 とが、多数のスペーサ粒子13を介して対向され、そのギャップ部に液晶が封止されている。この液晶表示板11は照明器14で照明されると共に、テレビカメラ15で粒子13からの反射光の映像が撮像され、画像処理装置16で画像処理されて2値化され、データ表示器17で反射光の数を単位面積当たりで計数し、粒子の散布状態を判別する。この場合、液晶表示板11は移動テーブル12上に設置され、その移動に伴う走査に基づき撮像される。ここで、移動テーブル12上に校正板18を設置し、照明器14からの光量を光量測定器19で計測して、2値化レベルの測定パラメータを自動的に設定する。
請求項（抜粋）：
多数の粒子が分布して配置された基板面を照明する光照射手段と、前記基板面を撮像し、前記多数の粒子それぞれからの反射光の分布像を認識する撮像手段と、この撮像手段で撮像された前記多数の粒子それぞれからの反射光の2値化データに基づき、前記基板面上での単位面積当たりの粒子個数を計数し、前記多数の粒子の分布状態を認識する画像処理手段と、前記基板の面上の明るさを検知し、この検知された明るさに基づいて撮像手段の2値化レベル測定パラメータを設定する校正手段とを具備し、この校正手段は前記光照射手段からの光によって、前記基板面と同等に照明されて、前記測定パラメータ設定のための照度が検出されるようにしたことを特徴とする粒子分布状態測定装置。
IPC (2件)：
G01N 15/02
, G02F 1/1339 500
G01N 15/02 C
, G02F 1/1339 500
