特許
J-GLOBAL ID：200903012774342765

角速度センサ

発明者：
森屋 和文

森屋 和文 について

, 
持田 洋一

持田 洋一 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-373682
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183144
出願日： 1999年12月28日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：
【要約】【課題】 第1,第2の振動体が常に一定の振幅となるように駆動振動を行い、安定した角速度の検出を行う。【解決手段】 第1の振動体4は、第1の支持梁3を介してX軸方向に振動可能な状態で基板1に取付ける。そして、第2の振動体6は、第2の支持梁5を介してY軸方向に変位可能な状態で第1の振動体4に取付ける。また、第1の振動体4と基板1との間には振動発生部10と振動状態モニタ部18とを設けると共に、第2の振動体6と基板1との間には角速度検出部14を設ける。これにより、角速度検出部14によって第2の振動体6のY軸方向への振動を検出し、振動状態モニタ部18によって第1の振動体4のX軸方向への振動を角速度の影響を受けずに検出できるから、常に一定の振幅となるように第1,第2の振動体4,6をX軸方向に駆動させることができる。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板に第1の支持梁によって支持され、該基板と平行方向に振動可能に設けられた第1の振動体と、該第1の振動体に第2の支持梁によって平行に支持され、該第1の振動体の振動方向に対して直交方向に振動可能に設けられた第2の振動体と、前記第1の振動体を前記基板に対して平行方向に振動させる振動発生手段と、前記第2の振動体の変位量を角速度として検出する角速度検出手段とを備えてなる角速度センサにおいて、前記基板と第1の振動体との間には、前記第1の振動体の変位量を前記振動発生手段による振動状態としてモニタする振動状態モニタ手段を設けたことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
Fターム (5件)：
2F105BB04 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11
引用特許：
審査官引用 (4件)
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