角速度検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大庭咲夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-160135
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193460
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】角速度検出装置における検出精度を向上させる。【解決手段】梁33-1〜33-4により連結された振動子20及びY軸方向に分割されたメインフレーム30-1,30-2が、基板10上面から浮かせて設けられている。メインフレーム30-1,30-2及び振動子20は、駆動電極部51-1〜51-4によりX軸方向に駆動される。X,Y両軸に直交するZ軸回りの角速度により振動子20はY軸方向に振動し、このY軸方向の振動を検出電極部53-1〜53-4に付与した高周波信号を用いて測定することにより、角速度が検出される。駆動電極部51-1〜51-4を前記Y軸方向に分割されたメインフレーム30-1,30-2にそれぞれ設けて独立した駆動信号を付与することにより、メインフレーム30-1,30-2をX軸方向に正確に振動させる。

請求項（抜粋）：

基板に支持部材を介して接続され同基板上にて互いに直交するX軸方向及びY軸方向に振動可能な振動部と、前記振動部を前記基板に対してX軸方向に振動させるための駆動部と、前記振動部の前記基板に対するY軸方向の振動を検出するための検出部とを備え、前記振動部をX軸方向に振動させた状態でX軸及びY軸に直交したZ軸回りに作用する角速度を同振動部のY軸方向の振動に基づいて検出する角速度検出装置において、前記駆動部を、Y軸方向の異なる位置に配置されて前記振動部をX軸方向に独立して振動させることが可能な複数の分割駆動部で構成したことを特徴とする角速度検出装置。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (8件)：

2F105BB03 , 2F105BB04 , 2F105BB11 , 2F105CC04 , 2F105CC20 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-102013
角速度センサの自己診断方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-045035 出願人：日産自動車株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-201390 出願人：アイシン精機株式会社

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審査官引用 (5件)

特開平4-102013
角速度センサの自己診断方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-045035 出願人：日産自動車株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-201390 出願人：アイシン精機株式会社

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