特許
J-GLOBAL ID：200903012804696664
平面型プローブ及びその形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-357201
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182264
出願日： 1998年12月16日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、近接場光を発生させる微細開口の寸法を容易に変えることができ、かつバラツキを低減させることができると共に、開口の断面形状も容易に変えることができ、そして高効率な近接場を発生することを可能とする平面型プローブ及びその形成方法を提供することを目的とする。【解決手段】 光記録媒体に記録・再生を行うために、ガラス基板(1)に設けられた複数の微小開口(3)に光を照射して該微小開口(3)の近傍に近接場光(4)を発生させる平面型プローブにおいて、ガラス基板(1)の上部に突起物(5)を有し、該突起物(5)の先端以外金属膜(2)で被覆されていることに特徴がある。
請求項（抜粋）：
光記録媒体に記録・再生を行うために、ガラス基板に設けられた複数の微小開口に光を照射して該微小開口の近傍に近接場光を発生させる平面型プローブにおいて、前記ガラス基板の上部に突起物を有し、該突起物の先端以外金属膜で被覆されていることを特徴とする平面型プローブ。
IPC (3件)：
G11B 7/135
, G11B 7/22
, G01N 37/00
G11B 7/135 A
, G11B 7/22
, G01N 37/00 E
5D119AA11
, 5D119AA22
, 5D119AA32
, 5D119AA38
, 5D119AA43
, 5D119BA01
, 5D119CA06
, 5D119JA34
, 5D119JA35
, 5D119JB03
, 5D119MA06
, 5D119NA05
