特許
J-GLOBAL ID:200903012889077518
アルミナ質耐食部材
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-309655
公開番号(公開出願番号):特開2001-130949
出願日: 1999年10月29日
公開日(公表日): 2001年05月15日
要約:
【要約】【課題】粒界相の耐食性を大幅に向上させると共に、残留応力を除去し、ハロゲン系腐食性ガスおよびそのプラズマやイオン衝撃に対し高い耐食性を具備し、パーティクルの発生しにくいアルミナ質耐食部材を提供する。【解決手段】アルミナを主体とし、希土類元素を酸化物換算で0.01〜0.5モル%の割合で含有するとともに、Alおよび希土類元素以外の金属元素を0.1%モル以下の割合の焼結体によって耐食性部材を形成する。
請求項(抜粋):
アルミナを主体とし、希土類元素を酸化物換算で0.01〜0.5モル%の割合で含有するとともに、Alおよび希土類元素以外の金属元素を0.1モル%以下の割合で含むことを特徴とするアルミナ質耐食部材。
Fターム (6件):
4G030AA11
, 4G030AA36
, 4G030BA33
, 4G030GA07
, 4G030GA25
, 4G030GA29
引用特許: