特許
J-GLOBAL ID：200903013001691554
スピナーシステムの搬送ロボット、その搬送ハンド及びその真空印加装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
葛和 清司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-022597
公開番号（公開出願番号）：特開2009-158902
出願日： 2008年02月01日
公開日（公表日）： 2009年07月16日
要約：
【課題】搬送ハンドからウエハーへの直接的・間接的な伝熱量を最小化してウエハーの高温化を防止するスピナーシステムの搬送ロボットハンドを提供する。【解決手段】搬送対象のウエハーを真空で吸着固定する搬送ロボットであって、搬送ハンドに備えられる‘U’字形の吸着部上の分岐する両側端部と分岐開始部の中央部にそれぞれ一つずつ三角形の配置をなすように接触リング部が形成され、前記接触リング部の中心に、真空吸入圧が印加される真空ホールが形成される。よって、接触リング部によるウエハーの接触面積を減らし、その突出高を増大させることによって搬送ハンドから搬送されるウエハーへの直接的・間接的な伝熱量を減少させ、また搬送ハンドがウエハーを下ろしてから帰還するかホームポジションで待機する時点で冷却されて、以後に搬送されるウエハーへの伝熱量を減少させることができる。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
搬送対象のウエハーを上面上に載置して真空で吸着固定するように、搬送アームに装着される搬送ハンドを備えるスピナーシステムの搬送ロボットにおいて、
前記ウエハーを載置して固定するように、前記搬送ハンドに備えられる‘U’字形の吸着部上の分岐する両側端部と分岐開始部の中央部にそれぞれ一つずつ三角形の配置をなすように接触リング部が形成され、
前記接触リング部の中心に、真空吸入圧が印加される真空ホールが形成されることを特徴とする、スピナーシステムの搬送ロボット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 B
, B25J15/06 G
3C007AS05
, 3C007AS24
, 3C007BS15
, 3C007BS26
, 3C007DS01
, 3C007FS03
, 3C007FT10
, 3C007FT11
, 3C007FU09
, 3C007NS09
, 3C007NS13
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031GA08
, 5F031GA37
, 5F031GA45
, 5F031GA47
, 5F031GA48
, 5F031NA05
, 5F031PA11
