特許
J-GLOBAL ID：200903013031138990

吸着テーブルおよび吸着テーブルを用いたシート剥離方法

発明者：
吉岡 孝久

吉岡 孝久 について

, 
高野 健

高野 健 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (2件)： 和田 成則 ,  茅原 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-232065
公開番号（公開出願番号）：特開2008-060136
出願日： 2006年08月29日
公開日（公表日）： 2008年03月13日
要約：
【課題】ウエハ等の板状部材から保護シート等のシートを剥離する場合に、ウエハの破損を防止するのに好適な吸着テーブルを提供する。【解決手段】保護シートTが貼付されたウエハWから該保護シートTを剥離するための吸着テーブル1において、この吸着テーブル1は、ウエハWを吸着保持する複数の吸引口6を有し、前記保護シートTの剥離段階に対応してその領域の吸着力が増減するように前記吸引口6の密度を増減させた構造とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
シートが貼付された板状部材から該シートを剥離するために前記板状部材を保持する吸着テーブルであって、 前記吸着テーブルは、前記シートの剥離段階に対応してその領域の吸着力が増減するように構成したこと を特徴とする吸着テーブル。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 P
Fターム (6件)：
5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA14 ,  5F031MA38 ,  5F031PA16 ,  5F031PA20
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 真空吸着テーブル
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-128951   出願人：株式会社タカトリ
審査官引用 (4件)
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