特許
J-GLOBAL ID：200903013368237850

逐次3点法における零点誤差補正方法及び零点誤差補正装置

発明者：
島田 尚一

島田 尚一 について

, 
板津 武志

板津 武志 について


出願人/特許権者：
株式会社ナガセインテグレックス

株式会社ナガセインテグレックス について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-160602
公開番号（公開出願番号）：特開2006-337112
出願日： 2005年05月31日
公開日（公表日）： 2006年12月14日
要約：
【課題】実体基準を用いずに複数の変位センサにより、形状情報と測定の際の運動誤差を同時に検出し、演算処理でそれらを分離し取り出すことができる逐次3点法における零点誤差補正方法及び零点誤差補正装置を提供する。【解決手段】 逐次3点法により、被測定物100、変位センサ31〜33を相対移動させて、変位センサ31〜33の検出出力に基づき、逐次3点法による被測定物100の表面形状を演算する。被測定物200を反転する前及び反転した後のそれぞれにおいて、被測定物100,200と、変位センサ41,42,32を相対移動させて、該変位センサの検出出力に基づいて、反転法による被測定物100の表面形状を演算する。逐次3点法と反転法による被測定物100の表面形状の演算結果に基づいて零点誤差補償量を算出し、該零点誤差補償量により、逐次3点法による零点誤差補正を行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
逐次3点法により、第1被測定物と3個の第1変位検出手段を相対移動させて、該第1変位検出手段の検出出力に基づき、逐次3点法による前記第1被測定物の表面形状を演算し、 前記第1被測定物とともに配置した第2被測定物単独、又は、第2被測定物と第2変位検出手段を反転する前及び反転した後のそれぞれにおいて、第1及び第2被測定物と、前記第2変位検出手段、及び前記第1変位検出手段を相対移動させて、前記第2変位検出手段と、該第1変位検出手段の検出出力に基づいて、反転法による前記第1被測定物の表面形状を演算し、 前記逐次3点法及び前記反転法による前記第1被測定物の表面形状の演算結果に基づいて零点誤差補償量を算出し、該零点誤差補償量により、逐次3点法による零点誤差補正を行うことを特徴とする逐次3点法における零点誤差補正方法。
IPC (1件)：
G01B 21/20
FI (1件)：
G01B21/20 C
Fターム (11件)：
2F069AA55 ,  2F069DD30 ,  2F069EE20 ,  2F069EE22 ,  2F069GG01 ,  2F069GG13 ,  2F069GG52 ,  2F069HH02 ,  2F069JJ06 ,  2F069LL03 ,  2F069NN16
引用特許：
出願人引用 (4件)
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引用文献：
出願人引用 (1件)

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