溝面形状測定装置および溝面形状測定方法およびプログラム

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (7件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 青山正和 , 江口昭彦 , 杉浦秀幸 , 村山靖彦 , 柳井則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-226630
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069394
出願日： 2002年08月02日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】被検出対象物に設けられた溝部の内部における溝幅や溝面の平面度等の溝面形状を容易かつ精度良く測定する。【解決手段】溝幅変化量算出部32は第1及び第2変位計12a,12bの変位データに基づきZ方向運動の真直度誤差を補正後の溝幅変化量を算出する。X方向真直度算出部33aは第1及び第3変位計12a,12cの変位データに基づき一方の対向面22AのX方向の真直度を算出し、溝幅変化量と一方の対向面22Aの真直度とに基づき他方の対向面22Bの真直度を算出する。Y方向真直度算出部33bは第1及び第4変位計12a,12dの変位データに基づき一方の対向面22AのY方向の真直度を算出し、溝幅変化量と一方の対向面22Aの真直度とに基づき他方の対向面22Bの真直度を算出する。平面度算出部34はX方向の真直度とY方向の真直度とに基づき対向面22A,22Bの平面度を算出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

2つの対向面からなる溝部の溝面形状を測定する溝面形状測定装置であって、各前記対向面に対して対向配置され、各前記対向面との間の距離および距離の偏差を検出する一対の変位計と、前記2つの対向面の何れか一方の対向面に対して対向配置され、前記何れか一方の対向面との間の距離および距離の偏差を検出する複数の変位計と、前記変位計と前記溝部とを前記対向面に平行な方向に相対移動させる移動手段と、前記移動手段の作動時に前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記溝部の溝幅および溝幅の偏差を算出する溝幅算出手段と、前記移動手段の作動時に前記複数の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記何れか一方の対向面の前記相対移動の方向における真直度を算出する真直度算出手段とを備えることを特徴とする溝面形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B21/16 , G01B11/14 , G01B21/30

FI (3件)：

G01B21/16 , G01B11/14 G , G01B21/30 101F

Fターム (39件)：

2F065AA06 , 2F065AA22 , 2F065AA47 , 2F065BB05 , 2F065CC00 , 2F065EE00 , 2F065FF51 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065LL12 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065PP12 , 2F065PP22 , 2F065QQ13 , 2F065QQ14 , 2F065QQ17 , 2F065QQ25 , 2F065QQ26 , 2F065QQ27 , 2F069AA44 , 2F069AA49 , 2F069AA54 , 2F069AA55 , 2F069BB40 , 2F069CC10 , 2F069EE04 , 2F069EE20 , 2F069EE23 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG14 , 2F069GG65 , 2F069HH09 , 2F069MM23 , 2F069NN05 , 2F069NN06 , 2F069NN18

引用特許：

出願人引用 (10件)

特開昭64-043711
特開昭62-081509
真直度測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-159301 出願人：株式会社ニコン

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審査官引用 (7件)

特開昭64-043711
特開昭64-043711
特開昭62-081509

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引用文献：

出願人引用 (1件)

“改良逐次3点法による直線運動精度の計測”

審査官引用 (2件)

“改良逐次3点法による直線運動精度の計測”
“長尺工具の精密測定に関する研究”

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