スリット幅測定装置及びスリット幅測定方法及びプログラム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (6件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 青山正和 , 江口昭彦 , 村山靖彦 , 柳井則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-023938
公開番号（公開出願番号）：特開2005-214865
出願日： 2004年01月30日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】被測定対象物に設けられたスリット部の内部におけるスリット幅を適宜の位置において容易かつ精度良く測定する。【解決手段】一対の構成部材20a,20bをスリット幅が増大するように互いに離間させた状態で、一対の変位計12a,12bにより、各スリット面26a,26b同士の間の距離と各合わせ面27a,27b同士の間の距離とを検出する。各スリット面26a,26b同士の間の距離と各合わせ面27a,27b同士の間の距離とに基づき、一対の構成部材20a,20bをそれらの合わせ面27a,27b同士が互いに密着するように結合させることによってスリット面26a,26b間に画成されるスリット部21のスリット幅を算出する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

スリット面と合わせ面とを有する一対の構成部材をそれらの合わせ面同士が互いに密着するように結合させることによって前記スリット面同士の間に画成されるスリット部のスリット幅を測定するスリット幅測定装置であって、前記一対の構成部材を前記スリット幅が増大するように互いに離間させた状態で、各前記スリット面あるいは各前記合わせ面に対して対向配置され、これらの対向配置された各面との間の距離を検出する一対の変位計と、前記変位計と前記構成部材とを前記スリット面に略平行な方向に相対移動させる移動手段と、前記移動手段の作動時に各前記スリット面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記スリット面同士の間の距離を算出するスリット面間距離算出手段と、前記移動手段の作動時に各前記合わせ面に対して対向配置された前記一対の変位計から出力される検出値に基づき、前記相対移動に係る誤差を補正後の前記合わせ面同士の間の距離を算出する合わせ面間距離算出手段と、前記スリット面間距離算出手段から出力される算出値と前記合わせ面間距離算出手段から出力される算出値とに基づき、前記一対の構成部材を結合させることによって画成される前記スリット部のスリット幅を算出するスリット幅算出手段とを備えることを特徴とするスリット幅測定装置。

IPC (2件)：

G01B21/16 , G01B11/14

FI (2件)：

G01B21/16 , G01B11/14 G

Fターム (35件)：

2F065AA06 , 2F065AA22 , 2F065BB18 , 2F065EE11 , 2F065FF55 , 2F065GG04 , 2F065HH13 , 2F065JJ05 , 2F065LL12 , 2F065LL33 , 2F065LL34 , 2F065LL36 , 2F065LL37 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065PP22 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065UU05 , 2F069AA49 , 2F069BB02 , 2F069CC10 , 2F069DD15 , 2F069DD19 , 2F069EE04 , 2F069EE22 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG51 , 2F069HH09 , 2F069HH30 , 2F069JJ13 , 2F069JJ22

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭62-241574号公報
隙間寸法測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-282017 出願人：大日本印刷株式会社
溝面形状測定装置および溝面形状測定方法およびプログラム
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-226630 出願人：三菱マテリアル株式会社, 株式会社東北テクノアーチ

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引用文献：

出願人引用 (4件)

“高精度長尺工具の精密測定に関する研究”
“長尺工具の精密測定に関する研究”
“高精度長尺塗布工具のスリット幅測定に関する研究”

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