特許
J-GLOBAL ID：200903013427128172
化学的気相成長装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-053939
公開番号（公開出願番号）：特開平11-246976
出願日： 1998年03月05日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、長期にわたって安定で再現性の高い成膜を行うことを目的とする。【解決手段】 原料蒸気発生器2a,2b,2cの少なくとも1つは、異種の固体原料又は液体原料を溶媒に溶解させてなる溶液原料を充填した溶液原料容器と、溶液原料噴射バルブ、加熱手段及び原料蒸気送出バルブを備えた気化器とを有し、溶液原料噴射バルブを所定時間開口し気化器に溶液原料を噴射させ、噴射された溶液原料を気化器内で完全に気化させ、原料蒸気送出バルブを所定時間開口し気化器の溶液原料蒸気を反応器10に輸送するシーケンシャルプロセスの繰り返し実行を制御するバルブ制御手段4を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
異種の原料蒸気を複数の原料蒸気発生器でそれぞれ発生させ、該発生させた原料蒸気の少なくとも1つを反応器に周期的に導入し、該反応器に内置した加熱基板に薄膜を成膜する化学的気相成長装置において、前記原料蒸気発生器の少なくとも1つは、異種の固体原料又は液体原料を溶媒に溶解させてなる溶液原料を充填した溶液原料容器と、該溶液原料容器の溶液原料を導入する溶液原料噴射バルブ、導入した溶液原料を加熱気化させて溶液原料蒸気とする加熱手段及び該溶液原料蒸気を送出する原料蒸気送出バルブを備えた気化器とを有し、前記溶液原料噴射バルブを所定時間開口し前記気化器に溶液原料を噴射する噴射工程、該噴射された溶液原料を前記気化器内で完全に気化させる気化工程及び前記原料蒸気送出バルブを所定時間開口し前記気化器の溶液原料蒸気を所定当量前記反応器に輸送する輸送工程を含むシーケンシャルプロセスを繰り返し実行するバルブ制御手段を有することを特徴とする化学的気相成長装置。
IPC (3件)：
C23C 16/52
, C23C 16/44
, C30B 25/14
C23C 16/52
, C23C 16/44 C
, C30B 25/14
